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ZDM系列真空鍍膜機

簡要描述:ZDM系列真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-03-05
  • 訪  問  量:1141

詳細介紹

品牌GEMTOP/喆圖價格區(qū)間面議
產地類別國產應用領域綜合

用途概述

ZDM系列真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機又稱HMDS基片預處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料,為基片在涂膠前改善表面活性,增加光刻膠與基底的粘附力的設備,也可用于晶片其它工藝的清洗,尤其在芯片研發(fā)和生產領域應用更加普及。

產品特點

ZDM系列真空鍍膜機

v 采用PLC工控自動化系統(tǒng),人機界面采用觸摸屏,可靠性高,操作智能方便;

v PLC控制系統(tǒng)具有自動控溫、任意定時、超溫報警等,彩色觸摸屏顯示,控溫準確可靠;

v 智能化觸摸屏控制系統(tǒng),可根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間;

v 采用鋼化玻璃觀察窗,監(jiān)測方便,一體成型的硅橡膠門封,確保箱內密封性好;

v 外殼和加熱管均采用不銹鋼材質,內膽不銹鋼,無易燃易爆裝置,無發(fā)塵材料;

v 以蒸汽的形式涂布到晶片表面,液態(tài)涂布均勻,可一次處理4盒以上的晶片,節(jié)省藥液。

v 去水烘烤和增粘(疏水)處理一機完成無需轉移,有效規(guī)避HMDS泄露的風險;

v HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,使真空箱密封性好,確保HMDS氣體不外漏;

v 多余的HMDS蒸汽(尾氣)由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道,確保安全以及環(huán)保。

HMDS預處理系統(tǒng)的必要性

HMDS涂到晶片表面后,經真空鍍膜機加溫后可反應生成以硅氧烷為主體的化合物,

它可將硅片表面由親水變?yōu)槭杷鹬詈献饔?,可更好與光刻膠結合,保證涂膠工藝不影

響光刻效果和顯影。

HMDS本身是表面改性,不會涂在圓片表面,HMDS上面涂膠不影響HMDS的處理效果。

HMDS處理后需要冷卻后涂膠,建議4小時內完成涂膠。

HMDS真空鍍膜機預處理程序

HMDS(六甲基二硅胺)是黃光區(qū)最毒的東西,真空鍍膜機預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到一定低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入通過氮氣的HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。

充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。

技術參數

型號

ZDM-90V

ZDM-125V

ZDM-215V

電源電壓

AC 220V 50Hz

控制系統(tǒng)

PLC智能控制

儀表控制

彩色觸摸屏

控溫范圍

RT+10-200℃

溫度分辨率

0.1℃

溫度波動度

±0.1

真空度

≤133pa

內膽尺寸

450*450*450

500*550*500

550*550*650

容積

90L

125L

210L

載物托架

2

3


3



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